這是一個一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 uQ#3;sFO  
z#b31;A@$  
光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度。 zH8l-0I+$  
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傅立葉變換后處理計算透射衍射級的振幅。 Y;>0)eP  
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參數(shù)掃描 F(/^??<5  
@=)_P
G  
Matlab®腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對入射角度的掃描。 :NHh`@0F  
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它會生成以下曲線圖，顯示反射和透射衍射級的強(qiáng)度： V0R
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>4=sEj  
在腳本data_analysis/run_can_width.m中，線條的寬度在150 nm到250 nm之間變化，照明角度固定。