1. 摘要 ?m bI6fYv
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在最近的幾十年里，COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um，甚至更小。通過(guò)減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時(shí)，這也為覆蓋在每個(gè)像素上的微透鏡的功能帶來(lái)了疑問(wèn)。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測(cè)微透鏡的有效性。 <Kk [^.7C; W<\*5oB%H 2. 建模任務(wù) |'QgL0?
R^VmNj 采用的幾何參數(shù)來(lái)自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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3J}/<&wv 3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) fq(3uE]nC
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