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集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
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集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
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通過(guò)連續(xù)減小CMOS傳感器的
像素
尺寸,近幾十年來(lái)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了越來(lái)越好的空間
分辨率
,并且這種趨勢(shì)有望繼續(xù)。但是,這便將關(guān)注點(diǎn)放到位于每個(gè)像素頂部的微
透鏡
上。當(dāng)像素尺寸接近
波長(zhǎng)
時(shí),微透鏡是否仍可以按預(yù)期聚焦
光線(xiàn)
?我們?cè)谶x定的示例中使用VirtualLab Fusion研究了此問(wèn)題。
0C4*F
=CD:.FG.
集成微透鏡
陣列
的CMOS傳感器分析
xc3Ov9`8%
'tq\<y
使用嚴(yán)格的FMM / RCWA,我們
模擬
了像素大小等于或小于2 µm的CMOS傳感器,尤其是研究了微透鏡的有效性。
ss|6_H =
;&7qw69k
使用界面配置
光柵
結(jié)構(gòu)
jS5t?0
JsAb q
在VirtualLab Fusion中,光柵結(jié)構(gòu)是在“堆棧”中配置的,根據(jù)光柵的幾何形狀,可以用一系列界面或特殊介質(zhì)構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu)。在這種使用情況下,說(shuō)明了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)的配置。
}[hDg6i
/_ hfjCE
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