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摘要 j<i:rk| q5~fU$ , 像光柵這樣的光學(xué)設(shè)備對(duì)光的偏振比較敏感。 因此,在仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)際中,光柵有時(shí)會(huì)以非偏振光作為輸入。 作為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 ;[-y>qU0 jyjK~!0
{7FD-Q[tS $h'>Zvf 光柵仿真中的非偏振光 =+wkjTO •光柵分析 Yc
V*3` −對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計(jì)算 QBT_H"[ 例如:作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 @nF#\ N~M-|^L •非偏振平面波 9{{CNy
p −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時(shí)間可以處于任何偏振態(tài)。 U^$l$"~"
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