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[求助]鏡片膜裂問題 [復(fù)制鏈接]

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只看該作者 10樓發(fā)表于: 2021-02-08

1. 打底層最好用TiO2
2. 機(jī)器不要加溫，把能量放到IBS這邊；
3. IBS的能量要有一個(gè)梯度
4. 整個(gè)鍍膜后的溫度要用測(cè)溫紙測(cè)一下，以此來判斷你IBS的energy是否合理

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只看該作者 11樓發(fā)表于: 2021-02-11

TiO2和SiO2薄膜應(yīng)力的產(chǎn)生機(jī)理及實(shí)驗(yàn)探索.zip (144 K) 下载次数:85

膜裂一般是由應(yīng)力產(chǎn)生的，一般來講，張力會(huì)造成膜裂。
而在常溫下，SiO2表現(xiàn)為張力，TiO2表現(xiàn)為壓力。
所以按原理來講，第一層鍍TiO2對(duì)膜裂的改善會(huì)比較好。

而且從附件論文的數(shù)據(jù)來看，開IAD比不開要好。


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