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準(zhǔn)分子激光加工與研磨加工
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發(fā)表于: 2007-12-28
采用了準(zhǔn)分子
激光
和研磨兩種小同的加工方法,在微構(gòu)件常用的Al2O3陶瓷材料表面構(gòu)建表面微觀形貌.通過表面輪廓儀測(cè)量加工試件表面形貌,采用自行研制的表面形貌
參數(shù)
表征系統(tǒng)進(jìn)行表面形貌統(tǒng)計(jì)參數(shù)計(jì)算.
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