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關(guān)鍵詞：超精密加工微光學(xué)

摘要：超精密機(jī)械加工技術(shù)作為微光學(xué)元件的一種制造方法，具有很多其他傳統(tǒng)方法所不具有的優(yōu)點(diǎn)。本文回顧了超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展，展望了其在微光學(xué)元件加工中的應(yīng)用潛力。

關(guān)鍵詞：超精密加工；微光學(xué)

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