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LED
外延片
LED
外延生長的基本原理是:在一塊加熱至適當(dāng)溫度的襯底基片(主要有藍(lán)寶石和SiC,Si)上,氣態(tài)物質(zhì)In,Ga,Al,P有控制的輸送到襯底表面,生長出特定單晶
薄膜
。目前LED外延片生長技術(shù)主要采用有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積方法。
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