微
光學(micro-optics)是未來微光電機系統(tǒng)(micro-optical-electrical-mechanical system,moems,也稱微機械系統(tǒng),micro-electrical-mechanical system)中三大(另兩大組成部分是微電子和微機械)重要組成部分之一,有時也稱光學微機械(optical mems)。
微光學元件具有體積小、重量輕、設計靈活可實現(xiàn)陣列化和易大批量復制等優(yōu)點已成功地應用到現(xiàn)代光學的各個領域中,如校正
光學系統(tǒng)的
像差、改善光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量、減輕系統(tǒng)的重量。更為廣泛的應用是
激光光學領域,用于改變激光光束波面,實現(xiàn)光束變換,如光束的準直、整形及光學交換和光學互聯(lián)等。微光學元件按照光傳播的途徑可簡單地分為兩大類:衍射光學元件(diffractive optical elements, does)和折射性光學元件(refractive optical element,roes)。衍射型微光學元件中比較常用的一種是二元光學元件(binary optical element,boes),以多臺階面形來逼近連續(xù)光學表面面形,是微光學元件中比較重要的一類。相應的微光學元件的設計方法有衍射方法和折射傳播的
幾何光學方法,如fresnel 波帶法、g-s 算法、遺傳算法、光線追跡等。目前比較成熟的商業(yè)化軟件如code v,zemax, oslo 等都具備微光學元件和系統(tǒng)的優(yōu)化設計功能。
/HC:H,"i Ac7^JXh% 微光學元件的制作方法
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