微細加工技術是精密加工技術的一個分支，面向微細加工的電加工技術,激光微孔加工、水射流微細切割技術等等在發(fā)展國民經(jīng)濟，振興我國國防事業(yè)等發(fā)面都有非常重要的意義，這一領域的發(fā)展對未來的國民經(jīng)濟、科學技術等將產(chǎn)生巨大影響，先進國家紛紛將之列為未來關鍵技術之一并擴大投資和加強基礎研究與開發(fā)。所以我們有理由有必要加快這一領域的發(fā)展和開發(fā)進程。
IUWJi\, t@2MEo 微細加工技術的概念和特點：
un`4q-S7 U[pR `u 微細加工技術是指加工微小尺寸零件的生產(chǎn)加工技術。從廣義的角度來講，微細加工包括各種傳統(tǒng)精密加工方法和與傳統(tǒng)精密加工方法完全不同的方法，如切削技術，磨料加工技術，電火花加工，電解加工，化學加工，超聲波加工，微波加工，等離子體加工，外延生產(chǎn)，
激光加工，電子束加工，粒子束加工，光刻加工，電鑄加工等。從狹義的角度來講，微細加工主要是指
半導體集成電路制造技術，因為微細加工和超微細加工是在半導體集成電路制造技術的基礎上發(fā)展的，特門市大規(guī)模集成電路和計算機技術的技術基礎，是信息時代微電子時代，光電子時代的關鍵技術之一。
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