因應(yīng)今日全球制造市場的競爭，需要借助于更高準確度及更好品質(zhì)的
機床，因此只是校驗及補償三項位移誤差（節(jié)距誤差）是不足夠的，如果能測得空間定位準確度，則所有三項位移誤差、六項直線度誤差及三項垂直度誤差能被測量及補償。
65lOX$*{- q z=yMIy= 近年來，光動公司已經(jīng)發(fā)展出針對包含三項位移誤差、六項直線度誤差及三項垂直度誤差空間誤差的
激光向量測量技術(shù)，整個測量僅需幾小時，取代了傳統(tǒng)測量需耗費幾天的時間。使用激光向量測量技術(shù)，已經(jīng)于亞崴配載Fanuc 18M控制器型號為FV-1000的立式
加工中心上測得其空間定位誤差。在沒有任何補償條件下，空間誤差為110mm，在節(jié)距誤差補償條件下，空間誤差為95mm，而在空間補償條件下，空間誤差則為12.5mm，整個改善了900%，關(guān)于此項技術(shù)的操作原理、硬件架構(gòu)、資料采集與處理及一些測試結(jié)果將在本篇文章中做討論。
BwJNi6, LPq2+:JpS 一、簡介
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CNC機床可由包含直線位移誤差、直線度誤差、角度誤差及彈性誤差的空間定位準確度來測得CNC機床的性能或準確度。然而這些誤差的測量相當復(fù)雜且耗時，針對這些原因，一些國際標準如ISO 230-6及ASME B5.54[1]建議以體對角線位移測量來作空間性能的快速檢驗，這是因為體對角線對于所有的誤差組成相當靈敏，因此當誤差超過規(guī)范，就沒有足夠的資料能夠來鑒別誤差源及作補償。
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近年來，由光動公司所發(fā)展出新的激光向量技術(shù)[2,3]，可利用激光位移量尺（LDDM）針對這些包含三項位移誤差、六項直線度與三項垂直度誤差的空間誤差來做測量。使用這項激光向量測量技術(shù)，已在亞崴型號為FV-1000的立式切削中心測量得到相關(guān)數(shù)據(jù)。
)j\r,9<K+5 <E"*)Oi 二、體對角線位移測量
'#H&:Htm;L ?LM:RADCm 體對角線位移測量方式被建議用來作機器定位及幾何準確度的快速檢驗。簡單來說，類似于激光直線位移測量，取代了激光光束在軸向的指向，而是作體對角線方向的指向，固定反射鏡在主軸上，并沿著體對角線方向移動主軸，從零點位置開始，并使三軸沿著對角線方向以增量同動到新的位置，則位移誤差可被測得。沿著對角線任一位置的準確度是依據(jù)三軸的定位準確度來決定，這準確度包含直線度誤差、角度誤差及垂直度誤差。因此體對角線位移測量是一種機器驗證的良好方法，但并沒有足夠的信息可以來鑒別誤差源。
/ [0F6 DX|uHbGg 三、向量或分段對角線測量
aJI>FTdK 7k>zuzRyF 新的向量測量方法或分段對角線測量方法不同于傳統(tǒng)的方法，因為各軸的是分開移動的，且定位誤差是在每次X軸、Y軸及Z軸各自移動后采集，基于這個理由，可采集到三倍多的資料，同時定位誤差因為各軸各自移動，可分離出來，這些采集到的資料可當作各軸沿著對角線位移的投影來作處理。
;JYoW{2 pNu qT* 一般的體對角線位移測量，標靶軌跡是直線，并且以角方鏡來作標靶，因此只能容許較小的側(cè)向位移。向量方法，變成分別沿著X軸、Y軸及Z軸作移動，重復(fù)這些動作直到對角線的相對端點。
Wt(Kd5k0'2 激光干涉儀是單光束激光，并以平面鏡當作標靶，注意到當以平面鏡當作標靶時，當移動平行平面鏡時，激光光束并不會被遮斷及改變與
光源的距離，所以測量不會受到影響。因此可測量激光方向的移動及容許較大的標靶側(cè)向移動。
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