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離線andy0627

實習生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2008-06-26

實驗2 金屬薄膜之制作
一、實驗目的
學習利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)制作金屬薄膜。
1．了解真空技術的基本知識；
2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法；
3．了解真空鍍膜的基本知識；
4．學習掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法．


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