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[原創(chuàng)]基于X-Ray LIGA工藝的三維針狀結(jié)構(gòu)的多種制造方法 [復(fù)制鏈接]

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離線xujia008

技術(shù)員

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2008-07-01

關(guān)鍵詞：激光加工 LIGA

MEMS的課程論文，寫得比較認真，希望對大家有用^_^ 傳上來掙點分……

本文主要對具有代表性的三維結(jié)構(gòu)——針形陣列的多種制造工藝作出介紹。包括：
1、移動掩模深X射線光刻（Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL）技術(shù)