我使用的是成真ZDF-III-LED真空計已經確認正常 LAS'u"c|  
我的意思不是3.0E-0開不了高閥，而是在這個真空度開高閥真空室的真空就抽不動。 '|8} z4/g  
只有在9.0E-1左右開高閥才能繼續(xù)抽真空。

檢查一下前級閥，看是不是前級閥內漏氣，還有就是DP與前級閥前有一個環(huán)，看有沒有壞啊，我也遇到過，但是就是這個問題

DP??DP與前級閥前有一個環(huán)??可以明確一點嗎?謝謝了

我聽說過一個做真空系統(tǒng)的人講過： QSdHm  
真空能不能抽到高真空，如果不能，表示漏氣，如果能抽到高真空，而時間太長，則表示不漏，而是真空泵系統(tǒng)問題。 (3Two}  
具體檢測方法，可以分別對各種泵的極限真空進行測試就大概知道。通常機械泵的抽速是從大氣到1000PA，前級泵是從1000PA到1PA擴散泵是從1PA到10-2PA,就可開始烘烤鍍膜后續(xù)工序。 g"p%C:NN  
你要摸摸擴散泵的溫度是不是過高。雖然說冷卻水溫指示正常，如果冷卻水管與擴散泵脫開的話，擴散泵一樣冷卻不好的。 p93r'&Q  
如果不是擴散泵的問題，從你說的現象來看。感覺機械泵與前級泵出現問題的可能性比較大。機械泵要抽一個小時才到你說的那個數值，也太慢了些吧。

我以前做AR膜時，是用光馳設備。從抽到鍍再到下次抽，間隔時間總共也才一個小時哦。 l1OE!W W  
南光機真的太慢了。

感覺是你的擴散泵的水冷系統(tǒng)出問題了

回復24樓 J>wt(] y  
W=^#v  
#>b3"[ |  
現在的機器不加烘烤 [R(`W#W  
20分鐘就到3*10-2了 y~AVei&  
&=Ar  
我們的設備每年開4000鍋 OE_XCZ!5P  
@=bLDTx;c)  
設備要注意保養(yǎng) -LK B$   
Vwg
|K|  
而且氣候、鍍制材料也有差異

可能是烘烤接線柱了漏氣

請將你的RP的型號及廠牌告訴我，另外真空度單們是？ *W4m3Lq  
或許我能幫你一下

你的機臺是不是擴散泵油加多那，檢查一下有的用量；或是你的加熱絲有問題，功率不夠或是達不到！