名稱:釔(Y)
!DF5NAE 三氧化二釔,(Y2O3)使用電子槍蒸鍍,該材料性能隨膜厚而變化,在500nm時(shí)折射率約為1.8.用作鋁保護(hù)膜其極受歡迎,特別相對(duì)于800—12000nm區(qū)域高入射角而言,可用作眼鏡保護(hù)膜,且24小時(shí)暴露于濕氣中.一般為顆粒狀和片狀.
]IzD` 透光范圍(nm) 折射率(N)500nm 蒸發(fā)溫度(℃) 蒸發(fā)源 應(yīng)用 蒸氣成分
lWT`y 250--8000 1.79 2300--2500 電子槍 防反膜,鋁保護(hù)膜
rI6+St - leYR`P 名稱:二氧化鈰(CeO2)
kJNwA8 7 使用高密度的鎢舟皿(較早使用)蒸發(fā),在200℃的基板上蒸著二氧化鈰,得到一個(gè)約為2.2的折射率,在大約3000nm有一吸收帶其折射率隨基板溫度的變化而發(fā)生顯著變化,在300℃基板500nm區(qū)域折射率為2.45,在
波長(zhǎng)短過400nm時(shí)有吸收,傳統(tǒng)方法蒸發(fā)缺乏緊密性,用氧離子助鍍可取得n=2.35(500nm)的低吸收性薄膜,一般為顆粒狀,還可用一增透膜和
濾光片等.
,*?[Rg0]+ 透光范圍(nm) 折射率(N)500nm 蒸發(fā)溫度(℃) 蒸發(fā)源 應(yīng)用 雜氣排放量
$ \o)-3 400--16000 2.35 約2000 電子槍 防反膜, 多
%}XyzGq{ w~Vqg:'\$ 名稱:氧化鎂(MgO)
k_Y7<z0G 必須使用電子槍蒸發(fā)因該材料升華,堅(jiān)硬耐久且有良好的紫外線(UV)穿透性,250nm時(shí)n=1.86, 190nm時(shí)n=2.06. 166nm時(shí)K值為0.1, n=2.65.可用作紫外線薄膜材料.MGO/MGF2膜堆從200nm---400nm區(qū)域透過性良好,但膜層被限制在60層以內(nèi)(由于膜應(yīng)力)500nm時(shí)環(huán)境基板上得到n=1.70.由于大氣CO2的干擾,MGO暴露表面形成一模糊的淺藍(lán)的散射表層,可成功使用傳統(tǒng)的MHL折射率3層AR膜(MgO/CeO2/MgF2).
@g]EY&Uzl j0(jXAc;UB 名稱:硫化鋅(ZnS)
<$otBC/% 折射率為2.35, 400—13000nm的透光范圍,具有良好的應(yīng)力和良好的環(huán)境耐久性, ZnS在高溫蒸著時(shí)極易升華,這樣在需要的膜層附著之前它先在基板上形成一無吸附性膜層,因此需要徹底清爐,并且在最高溫度下烘干,花數(shù)小時(shí)才能把鋅的不良效果消除.HASS等人稱紫外線(UV)對(duì)ZNS有較大的影響,由于紫外線在大氣中導(dǎo)致15—20nm厚的硫化鋅膜層完全轉(zhuǎn)變成氧化鋅(ZNO).
k1s5cg=n( nb6Y/`G 透光范圍(nm) 折射率(N)550nm 蒸發(fā)溫度(℃) 蒸發(fā)源 應(yīng)用 方式
?ks.M'@ 400--14000 2.35 1000--1100 電子槍,鉭鉬舟 防反膜, 升華
n+i=Ff
應(yīng)有:分光膜,冷光膜,裝飾膜,濾光片,高反膜,紅外膜.
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d$X: *JQ*$$5 名稱:二氧化鈦(TIO2)
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