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    [求助]請教關(guān)于脫膜 [復(fù)制鏈接]

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    離線cl610
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2008-11-04
    我們有個產(chǎn)品，AR400--900nm的，平均反射小于1%，我用Ta2O5+MgF2做的，基底材料LaK4，曲線還可以，就是脫膜，不知道是什么原因，請各位大俠賜教。還有沒有人用過這兩種材料的組合嗎？效果怎么樣？
     
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    離線zzh1011
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2008-11-04
    注意真空室是否有油分子，膜料預(yù)溶是否充分，最好加---IAD
    離線zyg1693
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2008-11-07
    你用AL2O3打底層再試試
    離線cl610
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2008-11-08
    謝謝各位回復(fù)，真空室倒是沒有回油，我現(xiàn)在懷疑是不是Ta2O5和MgF2的結(jié)合不好？
    離線hhxxttxs
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2008-11-11
    基體溫度也會有影響吧，襯底洗凈了嗎？有好多好象直接卷起來，還有膜直接斷裂，這些可能跟薄膜的內(nèi)應(yīng)力有關(guān)，還有熱膨脹問題。看看晶格參數(shù)差多少
    離線leisf
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2008-11-12
    如果不介意的話我也說兩句吧:我覺得你也說對了,中間再加些AL2O3吧!
    離線cl610
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2008-11-13
    我們設(shè)備配的是北京空間中心的離子源，目前尚未投入使用，膜料預(yù)熔三分鐘左右，充氧后真空度維持在3.4E-2Pa左右，烘烤溫度300度，（實測270度），膜層經(jīng)混合液棉花使力擦后先起路子，然后就會大面積脫膜。還有al2o3是做底層還是中間層啊？
    離線laonan
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2008-11-17
    加過渡層是比較理想的方法，可以試試
    離線gszljw
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2008-11-22
    脫膜是在什么環(huán)境下造成！用什么方法使他脫膜了，請說清楚后，可能會快速幫你解決
    離線lyz781128
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2008-11-24
    你鍍MGF2有用離子源嗎？
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