五維
光學(xué)調(diào)整架
@Rs3i;"W 技術(shù)
參數(shù):
&k@r23V7r 1. X,Y,Z移動距離分別為:
&? z6f9*$ X向: ±7.5mm
Y~g*"J5j Y向: ±9 mm
p?Jx2(%m Z向: ±10 mm
;H`>jI$ 2. 運動
精度:在各方向運行范圍內(nèi),直線度誤差小于0.005;
>*e,+ok X,Y方向運動15mm范圍內(nèi)在Z向的分量小于
f{ER]U 0.005
c~v(bK 3. 三爪機構(gòu)夾持范圍 Ø10~ Ø 130
egh_1Wg2a 4. X,Y偏擺機構(gòu),偏擺范圍不小于5°
X~>2iL
+?y9EZB% @DniYt
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