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[下載]磁控濺射靶源特性研究 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2008-11-20

關(guān)鍵詞：磁控濺射靶源

內(nèi)容介紹：設(shè)計制作了方便實用的圓形直流平面磁控濺射靶源! 測量了鋁靶面上的磁場分布"給出了靶電壓和靶電流隨氬氣壓的變化曲線!