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[求助]關(guān)于波長(zhǎng)控制的一個(gè)話題 [復(fù)制鏈接]

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離線oudexu

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2008-12-21

請(qǐng)教大家一個(gè)問(wèn)題，機(jī)器離子濺射，在控制波長(zhǎng)方面，以往是調(diào)節(jié)試樣鏡片到靶的距離就行了，而且非常敏感。最近幾次調(diào)了很多距離也不見(jiàn)波長(zhǎng)有變化。請(qǐng)問(wèn)造成這種情況有哪些可能呢？
膜厚控制為光學(xué)極值法。

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2008-12-21

第一次聽(tīng)說(shuō)這樣調(diào)節(jié)的,我們調(diào)節(jié)的一般是單色儀的輸出波長(zhǎng),基片位置是不動(dòng)的,補(bǔ)充一下,我的是真空蒸鍍

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2008-12-22

老式設(shè)備嘛
我們機(jī)器鍍膜和測(cè)波長(zhǎng)是分開(kāi)的

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2008-12-22

我們機(jī)器是老式設(shè)備


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