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    [討論]磁控濺射鍍膜的話，怎么計算薄膜的摻雜濃度？ [復(fù)制鏈接]

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    離線melody9566
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-01-01
    對鍍制的金屬陶瓷膜（磁控濺射法，金屬靶和陶瓷靶共濺射），有哪些方法可以計算出薄膜的摻雜濃度？
     
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    離線fineday36
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2009-02-13
    EDX,EMPA
    離線fineday36
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-02-13
    EDS,EMPA,SORRY,方法很多
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