1、真空的定義
:sg}e 真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
iiQn/% 2、真空度
<7Pp98si,u 處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
L>~Tc 3、真空度單位
_Z[0:4 通常用托(Torr)為單位,近年國際上取用毫巴(mbar)作為單位。
?Q-Tyf$3 1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
u|t l@_ 4、托與帕的轉(zhuǎn)換
Cty#|6k 1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
Oq.ss!/z 5、平均自由程
*KvD$(ny 作無規(guī)則熱運動的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。
K{ar)_V/ 6、流量
&;-zy%#l 單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕?升/秒(Pa?L/s)或托?升/秒(Torr?L/s)。
dW4jkjap 7、流導(dǎo)
cp(qaa 表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U=Q/(P2- P1)
9(TGkz(NA 8、壓力或壓強
i$E [@ 氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。
Q"qI'*Kgt 9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
#_35bg4h{ 壓強為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號:(Atm)。
Pt"H_SW~k 10、極限真空
oVy{~D= 真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣,再經(jīng)12小時抽真空,最后一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
0mSP 11、抽氣速率
/jGBQ-X 在一定的壓強和溫度下,單位時間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)
swF{}S" 12、熱偶真空計
0h@FHw2d 利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計。
V,_m>$Mo 13、電離真空計(又收熱陰極電離計)
tsc`u> 由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
p?Azn>qBa 14、復(fù)合真空計
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