[討論]膜系設(shè)計(jì)相關(guān)問題 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2005-07-28

各位同行大哥大姐，小弟這有一個膜系設(shè)計(jì)的問題想請教大家。

我在膜系設(shè)計(jì)時開始沒有考慮到設(shè)計(jì)TOOLING。設(shè)計(jì)并優(yōu)化了膜系。光譜符合我們的要求。加上設(shè)計(jì)TOOLING后就不行了。我想請教各位:tooling 是1 的時候和不是1，比如是1.27(TI3O5)時它們之間有沒有一個換算關(guān)系.

小弟不才.H層和L 層TOOLING 不是1 的時候我很難控制它的中心波長.

拜托各位了.小弟再次謝過了.

我的郵箱:fang198112042001@163.com

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離線囊中蓄乾坤

助理工程師

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只看該作者 16樓發(fā)表于: 2016-10-10

學(xué)習(xí)了，謝謝分享

離線知識乞丐

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只看該作者 15樓發(fā)表于: 2016-09-25

多謝共享資料好東

離線12511895

助理工程師

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只看該作者 14樓發(fā)表于: 2011-11-03

我有點(diǎn)不明啊!!

離線393590413

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只看該作者 13樓發(fā)表于: 2011-11-03

就是修正系數(shù)的意思，把實(shí)際測量厚度/設(shè)定厚度（基片厚度）。

離線xiezhizhi

技術(shù)員

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只看該作者 12樓發(fā)表于: 2008-09-25

斑竹我的機(jī)器是南光機(jī)帶晶控的不過機(jī)器的系數(shù)一直不穩(wěn)定請問你們是用什么方法做機(jī)器的系數(shù)

離線維他命

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只看該作者 11樓發(fā)表于: 2008-09-05

回樓主(lawsonfang) 的帖子

斑竹,知道答案給解釋一下,我也很想知道,大家一起分享.
謝謝!!!

離線yufe16

技術(shù)員

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只看該作者 10樓發(fā)表于: 2007-07-23

初始ＴＯＯＬＩＮＧ怎么計(jì)算啊？

離線sunkexian

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2007-07-22

好呀我來了又

離線dzk999

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2006-02-22

是不是膜厚控制的tooling啊？如果是，對于同一個蒸發(fā)源，一般的不同材料tooling差別不大啊。
如果樓主成膜時H、L材料使用不同的蒸發(fā)源，建議將兩個蒸發(fā)源的tooling調(diào)成一樣。
無論怎樣，設(shè)計(jì)是也是可以按照理想狀態(tài)設(shè)計(jì)的，只不過鍍膜程式要隨需變化。遇到摟住的情況，在下覺得問題不在設(shè)計(jì)，而應(yīng)該考慮設(shè)備方面的問題。