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    [討論]請(qǐng)教關(guān)于光控預(yù)鍍層的問題! [復(fù)制鏈接]

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    離線holdout
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-07-03
    一般我們要鍍多層膜的時(shí)候,直接用k9的玻璃做監(jiān)控可能不是很好控制,所以要預(yù)先在k9的控制片上鍍上其他材料的膜!但是這個(gè)預(yù)鍍層材料的選擇和厚度以什么為標(biāo)準(zhǔn)來定呢? q]'VVlP)  
    望大家賜教!
     
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    離線dingjie
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2009-07-28
    不了????
    離線yzhuang
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-08-01
    真正的老機(jī)器了,這是幾十年前的做法了,現(xiàn)在的好光控完全不用預(yù)鍍了
    離線pfc537
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2009-08-06
    偶用的是老機(jī)器,希望有人賜教如何解決,而且我還想問為什么要預(yù)鍍?干嘛不直接用
    離線morningtech
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 01-13
    預(yù)鍍層改變光控片的組合導(dǎo)納,從而改變真正成膜時(shí)光量的走勢。提高判斷準(zhǔn)確度。 vmW4a3  
    hb^e2@i;Oq  
    設(shè)想, 要求鍍 200nm厚 SiO2,折射率 1.44。 DF9Br D0{  
    1.44*200 = 2  *576/4, 即 用 576nm波長監(jiān)控時(shí),走兩個(gè)極值。 9u"im+=:  
    光控片是玻璃或石英時(shí),光量變化幅度很小,光控很難判斷。 X @r5^A[9  
    如果用 576nm 波長將光控片預(yù)鍍HLH,H是高折射率材料。 假如H=2.2,那么此時(shí)  再鍍 SiO2時(shí),它的透過率起伏幅度可以達(dá)到  25%。同樣走兩個(gè)極值,但容易判停了。 sveFxI  
    在只有單一波長監(jiān)控下,還是很有用的。
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