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關(guān)鍵詞：光學(xué)光學(xué)薄膜薄膜

光學(xué)薄膜基本工藝講義-周東平研究員（上海技物所）

第一講真空系統(tǒng)的基本知識
第二講制備技術(shù)
第三講鍍膜工藝
第四講薄膜材料
第五講膜厚監(jiān)控