[討論]單點(diǎn)模厚換算 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2009-07-30

想請(qǐng)教各位高手一個(gè)問題，鍍1490中心波長(zhǎng)的單點(diǎn)增透膜SIO2、ZRO2、SIO2其中第一層是打底，它們的厚度分別是103.7——67.5——125納米做單位。我把厚度代入公式結(jié)果跟實(shí)際的相差很大。有哪位高手會(huì)算請(qǐng)把換算公式列出來并把厚度帶進(jìn)去，交流一下，好對(duì)比我錯(cuò)在哪里！

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離線dingjie

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2009-07-30

上面有錯(cuò)最后一層是325NM，不好意思！

離線yzhuang

論壇版主

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2009-08-01

膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺(tái)機(jī)器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡(jiǎn)單的辦法就是鍍奇數(shù)個(gè)1/4中心波長(zhǎng)的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測(cè)量?jī)x器測(cè)出實(shí)際的中心波長(zhǎng),再用軟件模擬一下,實(shí)際厚度多少,實(shí)際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺(tái)機(jī)器的一個(gè)換算參數(shù)

離線0558

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2009-10-03

先把TOOLING值找出

離線天命

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2009-12-17

膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺(tái)機(jī)器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡(jiǎn)單的辦法就是鍍奇數(shù)個(gè)1/4中心波長(zhǎng)的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測(cè)量?jī)x器測(cè)出實(shí)際的中心波長(zhǎng),再用軟件模擬一下,實(shí)際厚度多少,實(shí)際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺(tái)機(jī)器的一個(gè)換算參數(shù)
這個(gè)方法是正確的，也是最容易的

離線拉比熊

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2013-01-14

就是先做單層膜

離線擺脫你的煩惱

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2013-03-18

好東西。。。

離線scenery

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2013-08-03

得好好學(xué)學(xué)！！！！

離線yuliang-518

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2013-08-19

只能模擬對(duì)

離線503749868

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2013-08-21

好好學(xué)習(xí)