1.測試MTF設備 F^wm&:%{`  
美國 OPTIKOS MTF #t&L}=G{%  
配有說明書以及設備軟件電腦 yzL6oU-{&  
美國 OPTIKOS 平行光管2套 MF5o\-&dN  
上海JCT光學精密平臺 1800*1200 t "[2^2G  
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2.ZYGO干涉儀 @_"Z]Y ,D0  
型號:zygo gpi-4" st mv`ND&  
配有標準鏡一個 vSJ# }&  
新天電動導跪 >yt8gw0J  
日本KOHZU xy方向光學平臺 jH2_Ekgc;_  
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3日本pearl公司f600mm 平行光管一套 V.kf
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4德國光箱2套 3c[TPD_:  
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5美國光箱1套 ^" UZ.@sq'  
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