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    [求助]什么是保護(hù)氣,鍍膜中的保護(hù)氣起什么作用啊? [復(fù)制鏈接]

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    離線1985120
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-10-08
    什么是保護(hù)氣,鍍膜中的保護(hù)氣起什么作用啊?
     
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    離線韋爾銘
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-12-07
    1、鍍金屬膜時(shí),一般用氬氣作為工作氣體,它是惰性氣體,在真空狀態(tài)下加熱基片時(shí)不會(huì)發(fā)生氧化作用。2、氧氣一般用于鍍非金屬膜,如TiO2,不必?fù)?dān)心鍍好膜后發(fā)生膜氧化現(xiàn)象。3、氮?dú)馐窃趽Q靶鍍膜時(shí)往真空室沖入的氣體,讓真空室內(nèi)壓強(qiáng)和大氣壓強(qiáng)保持相等,才能開蓋換靶鍍另一層膜。
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