[求助]什么是保護氣，鍍膜中的保護氣起什么作用啊？ [復(fù)制鏈接]

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離線1985120

助理工程師

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什么是保護氣，鍍膜中的保護氣起什么作用啊？

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離線韋爾銘

實習生

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2022-12-07

1、鍍金屬膜時，一般用氬氣作為工作氣體，它是惰性氣體，在真空狀態(tài)下加熱基片時不會發(fā)生氧化作用。2、氧氣一般用于鍍非金屬膜，如TiO2，不必擔心鍍好膜后發(fā)生膜氧化現(xiàn)象。3、氮氣是在換靶鍍膜時往真空室沖入的氣體，讓真空室內(nèi)壓強和大氣壓強保持相等，才能開蓋換靶鍍另一層膜。

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