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    [求助]請問有沒有在Silica上刻光波導方面的資料？ [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-11-23
    用集成電路的工藝來刻蝕Silicon很容易，除了在設計方面費點事。 }:us:%  
    如果我想用傳統(tǒng)的二氧化硅刻光波導（AWG的那些東西），工藝就不同，應為Silica不容易刻。 Ji>o!  
    哪位高手有用Silica刻光波導的資料？謝謝了。 nxWY7hU  
     
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    離線gqy271
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2010-06-14
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