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真空鍍膜技術,作者:張以忱

發(fā)布:cyqdesign 2010-01-30 21:38 閱讀:17840
真空鍍膜技術》共分10章,系統(tǒng)地闡述了真空鍍膜技術的基本慨念和基礎理論、各種薄膜制備技術、設備及工藝、真空卷繞鍍膜技術、ITO導電玻璃真空鍍膜工藝,尤其重點介紹了一些近年來新出現的鍍膜方法與技術,如反應磁控濺射鍍膜技術、中頻磁控濺射鍍膜和非平衡磁控濺射鍍膜技術等;還詳細介紹了薄膜沉積及膜厚的監(jiān)控與測量以及表面與薄膜分析檢測技術等方面的內容。 2.>WR~ \  
《真空鍍膜技術》具有很強的實用性,適合于真空鍍膜行業(yè)、薄膜與表面應用、材料工程、應用物理以及與真空鍍膜技術有關的行業(yè)從事研究、設計、設備生產操作與維護的技術人員,也適用與真空鍍膜技術相關的實驗研究人員和學生,還可用作大專院校相關專業(yè)師生的教材及參考書。 Z?);^m|T  
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1 薄膜與表面技術基礎理論 FkH HTO  
1.1 概述 '<JNS8h  
1.2 固體表面介紹 Biva{'[m  
1.2.1 固體材料 `Q@w*ta)  
1.2.2 固體表面與界面的基本概念 4Ucs9w3[  
1.2.3 固體表面與界面的區(qū)別 hp$/O4fD  
1.3 表面晶體學 WEnI[JGe  
1.3.1 金屬薄膜的晶體結構 \|gE=5!Am=  
1.3.2 理想的表面結構 BWWO=N  
1.3.3 表面與體內的差異 >]!8f?,  
1.3.4 青潔表面結構 ,dR<O.{ 0  
1.3.5 實際表面結構 .S{FEV  
1.4 表面特征(熱)力學 o _G,Ph!7  
1.4.1 表面力 S <RbC  
1.4.2 表面張力與表面自由能 2&,jO+BqE@  
1.4.3 表面擴散 2I@d=T{K  
1.5 表面電子 VK]cZ%)  
1.5.1 金屬薄膜中的電遷移現象 /TndB7l"3  
1.5.2 曾強薄膜抗電遷移能力的措施 /F thT  
1.6 界面與薄膜附著 ^c-8~r|y,  
1.6.1 界面層 'e(]woe 于田县| 金秀| 溧水县| 夏津县| 壤塘县| 奎屯市| 新竹市| 濉溪县| 沂源县| 化德县| 呈贡县| 文成县| 德清县| 亳州市| 长宁区| 武清区| 泾源县| 麻栗坡县| 隆子县| 郯城县| 安义县| 乡宁县| 抚松县| 荆州市| 眉山市| 水城县| 富宁县| 新丰县| 宣汉县| 社会| 普格县| 汪清县| 儋州市| 新民市| 鸡泽县| 大连市| 苗栗市| 建德市| 和政县| 鄂尔多斯市| 京山县|