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    [求助]霍爾離子源輔助 [復制鏈接]

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    離線milkyway
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2010-02-09
    w" JGO  
    本人剛剛買了一臺新的霍爾離子源，離子轟擊玻璃基片10分鐘，鍍膜后反而不牢，吸潮后膜層即脫落，不轟擊反而沒有問題。請達人幫我分析一下，那里出了問題，謝謝了
     
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    離線yangyangyang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2014-06-25
    1,腔室潔凈度 .*!#98pT  
    2，鍍膜區(qū)域潔凈度，溫度濕度過高或過低 e\9g->DUs  
    3，基材放置太久或受潮 jV^C19  
    4，轟擊時間太久 Hbk&6kS  
    5，離子束流不夠
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