[轉(zhuǎn)載]多層介質(zhì)薄膜膜層間界面粗糙度及光散射(PDF格式論文) [復(fù)制鏈接]

發(fā)帖: 1

光幣: 143

光券: 0

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2010-03-04

關(guān)鍵詞：薄膜

多層介質(zhì)薄膜膜層間界面粗糙度及光散射

摘要：利用泰勒霍普森相關(guān)相干表面輪廓粗糙度儀(Talysurf CCI)分別對(duì)基底和采用電子束熱蒸發(fā)技術(shù)沉積的15 層二氧化鈦(TiO2)和二氧化硅(SiO2)為膜料的介質(zhì)高反膜的膜層間的界面粗糙度進(jìn)行了研究，并對(duì)不同工藝下沉積的薄膜界面粗糙度以及不同基底粗糙度上沉積的薄膜的表面粗糙度進(jìn)行了比較。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：TiO2薄膜對(duì)基底或下表面粗糙度有較好的平滑作用，隨著TiO2和SiO2膜層的交替鍍制，膜層間表面粗糙度呈現(xiàn)出低高交替的現(xiàn)象，隨著膜層層數(shù)的增加，膜層間界面粗糙度低高變化范圍減小；采用離子束輔助沉積工藝時(shí)，膜層間界面粗糙度低高變化范圍較小。總散射損耗的理論計(jì)算表明：中心波長(zhǎng)處完全非相關(guān)模型下的總散射損耗小于完全相關(guān)模型下的總散射損耗。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：界面粗糙度的相關(guān)度約為0.4。

關(guān)鍵詞：界面粗糙度；白光干涉輪廓儀；均方根粗糙度；光散射

附件設(shè)置隱藏，需要回復(fù)后才能看到

共1條評(píng)分

cyqdesign

金錢 +5

-

2010-03-04

分享到

離線legendlyy

高級(jí)工程師

發(fā)帖: 1616

光幣: 8016

光券: 0

只看該作者 1樓發(fā)表于: 2010-03-04

seee!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

離線macofyou

助理工程師

發(fā)帖: 1297

光幣: 964

光券: 0

只看該作者 2樓發(fā)表于: 2010-03-10

趕快看看多謝了

離線jimmy58

發(fā)帖: 66

光幣: 0

光券: 0

只看該作者 3樓發(fā)表于: 2010-03-10

Thank you for sharing

離線twdrango

發(fā)帖: 10

光幣: 0

光券: 0

只看該作者 4樓發(fā)表于: 2010-03-31

謝謝樓主好東西哦

離線lzb0036

發(fā)帖: 79

光幣: 15

光券: 0

只看該作者 5樓發(fā)表于: 2010-04-05

離線mxw032

發(fā)帖: 18

光幣: 56

光券: 0

只看該作者 6樓發(fā)表于: 2010-05-26

謝謝指導(dǎo)~~~

離線zeephyr

助理工程師

發(fā)帖: 146

光幣: 952

光券: 0

只看該作者 7樓發(fā)表于: 2010-06-09

看看吧, 謝謝.

離線dewei5210

發(fā)帖: 42

光幣: 11

光券: 0

只看該作者 8樓發(fā)表于: 2010-06-22

TFCALC

離線bandri007

發(fā)帖: 4

光幣: 1

光券: 0

只看該作者 9樓發(fā)表于: 2010-08-03

回樓主(xiangyi) 的帖子

奪取在要要求械斗