900型箱式真空鍍膜機(jī)操作步驟： Tp9- niW
1.進(jìn)入水泵房,開(kāi)水泵和氣源,水的溫度控制在20攝氏度以下 (>I`{9x>6
2.進(jìn)入鍍膜室,拉上電閘,打開(kāi)鍍膜機(jī)總電源,使鍍膜機(jī)啟動(dòng),此時(shí)鍍膜機(jī)顯示警報(bào),關(guān)閉警報(bào).然后在觸摸屏上點(diǎn)擊維持泵圖標(biāo),擴(kuò)散泵開(kāi)始預(yù)熱,等待溫度上升到270攝氏度,一般要1h左右. zA !0l*H
3.開(kāi)始打掃鍍膜室衛(wèi)生,保持較高的清潔度.在吸塵工作臺(tái)上擦拭基片,采用酒精和乙醚混合液擦拭,而后在60w的檢驗(yàn)等下檢測(cè),擦拭完畢安裝到真空室的旋轉(zhuǎn)工件架上,旋轉(zhuǎn)工件架檢測(cè)是否固定.然后向7號(hào)和8號(hào)坩堝中填ZrO2膜料.關(guān)上真空室門(mén) BYo/57&:
4.擴(kuò)散泵到270攝氏度,啟動(dòng)機(jī)械泵,然后點(diǎn)旁通閥和低通閥開(kāi)始抽低真空,使真空度達(dá)到10~3Pa時(shí),啟動(dòng)羅茨泵,真空度達(dá)到3Pa時(shí)關(guān)閉維持泵,此時(shí)抽低真空完畢 ;x8k[p~2
5.關(guān)閉旁通閥和低通閥,打開(kāi)閾閥和高通閥,再點(diǎn)烘烤和右修正擋板.等到真空度達(dá)到4×10~-3Pa "eWYv3z~-
6.真空度達(dá)到4×10~-3Pa時(shí),打開(kāi)電子槍電源,按下速流和燈絲按鈕,通過(guò)觀察窗觀察光斑位置,調(diào)節(jié)電子槍橫縱旋鈕,使矩形光斑內(nèi)切與坩堝.旋轉(zhuǎn)電子槍速流旋鈕,在光控儀上速流顯示100時(shí)開(kāi)始熔ZrO2膜料,調(diào)整光斑位置,調(diào)節(jié)速流達(dá)到150,再次調(diào)整光斑位置,然后調(diào)節(jié)速流達(dá)到200. hwI Mn33
7.打開(kāi)擋板,開(kāi)始蒸鍍.緩慢調(diào)節(jié)速流旋鈕,使光控儀上的速率上升到3.0左右.等到光能量走過(guò)3個(gè)極值之后,關(guān)上擋板換上8號(hào)坩堝,打開(kāi)擋板,當(dāng)在走過(guò)3個(gè)極值之后關(guān)上擋板. ]Wq?H-B{
8.快速調(diào)節(jié)速流為零,關(guān)閉電子槍電源.然后關(guān)閉烘烤,修正擋板,高通 閥和閾閥,打開(kāi)維持泵,關(guān)閉羅茨泵和機(jī)械泵 " $ew~;z
9.等到烘烤溫度下降到120攝氏度,停止旋轉(zhuǎn)工件架,然后點(diǎn)充氣圖標(biāo)開(kāi)始往真空室充氣 f}@ jFhr'<
10.取出工件,關(guān)機(jī)
