非接觸式測(cè)量根據(jù)測(cè)量原理的不同，有光學(xué)測(cè)量、超聲波測(cè)量、電磁波測(cè)量、紅外測(cè)量、攝影測(cè)量等方式。 V+qJrZ,i  
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一、光學(xué)測(cè)量法可分為激光三角測(cè)量法、機(jī)器視覺法、莫爾輪廓法、相位測(cè)量輪廓法、掃描隧道顯微鏡( STM)法、光纖法、激光干涉法、激光掃描法等 。 FxfL+}?Q  
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1.光學(xué)三角測(cè)量法 Yu^H*b  
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分為直射式光學(xué)三角法測(cè)量原理和斜射式光學(xué)三角法測(cè)量原理，按照測(cè)量方法可分為點(diǎn)光源入射、線光源入射和柵光源入射三種形式； 7"q+"0G  
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2.莫爾輪廓法:是通過一塊基準(zhǔn)光柵來檢測(cè)輪廓面的影柵或像柵，并依據(jù)莫爾圖案分布規(guī)律推算出輪廓面形狀的全場(chǎng)測(cè)量方法。投射在三維輪廓面上的變形光柵，其光場(chǎng)分布函數(shù)可表示成空間相位調(diào)制信號(hào)，待測(cè)物體偏離參考平面時(shí)因影柵條紋位置變化而引起的空間相位改變量，待測(cè)物體的高度信息就包含在這一相位調(diào)制項(xiàng)中； MdH97L)L.0  
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3.相位測(cè)量輪廓法  gt_XAH  
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Satoru Toyooka和Tuuji Iwaasa在1986年提出了三維輪廓表面的空間相位檢測(cè)法。是用TV相機(jī)來采集物體上變形光柵圖像的灰度信息，然后由計(jì)算機(jī)按不同與FTP的規(guī)則進(jìn)行相位解調(diào)和高度計(jì)算，從而獲得需要點(diǎn)的坐標(biāo)； |=cCv_y  
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4.掃描隧道顯微鏡法 \V^*44+ <!  
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利用量子理論中的隧道效應(yīng)，該掃描運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的作用是產(chǎn)生探針相對(duì)于樣品的三維掃描運(yùn)動(dòng)，其運(yùn)動(dòng)部件的直線性、正交性運(yùn)動(dòng)的重復(fù)性和穩(wěn)定性都達(dá)到了前所未有的高要求； ]G0dS Fh{j  
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5.光纖法  *q*HG 布拖县| 报价| 成安县| 田东县| 敦化市| 乐平市| 新绛县| 长春市| 沧源| 康平县| 德化县| 平定县| 车致| 巴彦淖尔市| 邮箱| 信宜市| 河曲县| 绥中县| 秭归县| 陇西县| 襄汾县| 阿克苏市| 舟山市| 福海县| 鹿泉市| 阿克苏市| 桃园县| 广丰县| 成武县| 富顺县| 益阳市| 富蕴县| 舞钢市| 盐山县| 积石山| 黄冈市| 天水市| 宣城市| 秦安县| 北京市| 叙永县|