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[求助]請(qǐng)問(wèn)如附件所示的非球面柱面鏡如何檢測(cè)？ [復(fù)制鏈接]

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離線(xiàn)bluejewls

技術(shù)員

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2010-06-20

關(guān)鍵詞：精度非球面柱面鏡檢測(cè)微米

最近遇一課題，需要用到非球面柱面鏡，加工出來(lái)了，但麻煩的是，不知如何檢測(cè)。面型精度要求較高，偏差5微米左右。請(qǐng)問(wèn)各位大俠有什么好辦法？

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離線(xiàn)328555707

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2010-07-02

用ZYGO機(jī)可測(cè)試，它有CGH配件，專(zhuān)用于測(cè)柱面面形

離線(xiàn)121331768

助理工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2010-07-02

樓上正解！

離線(xiàn)binaryoptics

技術(shù)員

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2012-10-05

需用干涉儀和特別訂制的CGH

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