光學(xué)測量作為一種非接觸式測量方法，在某些方面與接觸式三坐標(biāo)測量相比具有本質(zhì)上的優(yōu)勢。它不使用接觸式測針進(jìn)行采點(diǎn)，而是利用了光的
物理特性來進(jìn)行測量，這樣就能夠完全避免測針補(bǔ)償帶來的潛在問題，也使被測物體表面不再受到測針接觸帶來的影響。而光學(xué)測頭的測量速度通常也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于觸發(fā)式測頭。首先，光學(xué)測頭的采點(diǎn)方式都是連續(xù)的，不需要進(jìn)行測針歸位；而且在采點(diǎn)過程中，光學(xué)測頭也區(qū)別于觸發(fā)式測頭：觸發(fā)式測頭會因?yàn)榻佑|物體表面時(shí)速度過快而被認(rèn)為發(fā)生了碰撞，而光學(xué)測頭則完全不會出現(xiàn)這個(gè)問題。
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