德國Roth & Rau MicroSystems GmbH是提供將等離子體（Plasma）和離子束（ion beam）技術(shù)應(yīng)用于薄膜和表面處理的加工設(shè)備及零部件的供應(yīng)商。公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于多種工業(yè)領(lǐng)域，其中包括可為太陽能電池硅片進行邊緣絕緣處理的等離子體刻蝕系統(tǒng)，應(yīng)用于光伏領(lǐng)域中的其它干法刻蝕設(shè)備，以及適用于研究和開發(fā)過程所需要的各種等離子體工藝設(shè)備。基于公司在等離子體領(lǐng)域長期積累的經(jīng)驗和對工藝過程的全面的了解，Roth & Rau公司還可提供包括等離子體源和離子束源在內(nèi)的，針對不同工業(yè)領(lǐng)域中特殊表面處理、鍍膜、等離子體及離子束加工等方向的工藝設(shè)備系統(tǒng) m!{}Y]FZn  
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Roth&Rau公司在現(xiàn)代高精密薄膜沉積和表面加工處理技術(shù)中，尤其是離子束加工方向樹立了新的質(zhì)量標準體系。 r?{$k3Vl  
應(yīng)用： tTWeOAF  
離子束刻蝕：