摘要：離軸照明作為一種重要的分辨率增強技術被廣泛地應用于投影光刻系統(tǒng)。使用衍射光學元件（ ＤＯＥ） 作為光刻照明系統(tǒng)的光束整形器件， 能夠在保持較高照明效率的基礎上精確控制離軸照明光束的形狀及光強分布。本文利用基于傅里葉變換的分步迭代方法， 優(yōu)化設計了該類衍射光學元件（ ＤＯＥ） 。ＤＯＥ采用了多臺階位相結構， 設計所得８臺階ＤＯＥ設計結果分別實現(xiàn)了偶極、 四極、 環(huán)形及Ｂ ｕ ｌ ｌ ｓ Ｅ ｙ ｅ等照明方式， 其照明效率都達到了８ ０％以上， 與目標光強分布的均方根偏差均＜７％。 `=Hh5;ep
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關鍵詞： 衍射光學元件； 投影光刻； 分辨率增強； 照明； 光束整形
