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[論文]投影光刻離軸照明用衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì).PDF [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-05-09

關(guān)鍵詞：投影照明衍射光學(xué)元件光束

摘要：離軸照明作為一種重要的分辨率增強(qiáng)技術(shù)被廣泛地應(yīng)用于投影光刻系統(tǒng)。使用衍射光學(xué)元件（ＤＯＥ）作為光刻照明系統(tǒng)的光束整形器件，能夠在保持較高照明效率的基礎(chǔ)上精確控制離軸照明光束的形狀及光強(qiáng)分布。本文利用基于傅里葉變換的分步迭代方法，優(yōu)化設(shè)計(jì)了該類衍射光學(xué)元件（ＤＯＥ）。ＤＯＥ采用了多臺(tái)階位相結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)所得８臺(tái)階ＤＯＥ設(shè)計(jì)結(jié)果分別實(shí)現(xiàn)了偶極、四極、環(huán)形及Ｂｕｌｌｓ  Ｅｙｅ等照明方式，其照明效率都達(dá)到了８０％以上，與目標(biāo)光強(qiáng)分布的均方根偏差均＜７％。


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