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現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù) 蔡珣
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現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù) 蔡珣
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gpx007
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發(fā)表于: 2011-07-29
這個(gè)好不好啊,看看了,支持
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cr6808739
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lm341403
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發(fā)表于: 2011-08-02
謝謝分享!!!!!!!!!!!!!!
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jackieshejie
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13樓
發(fā)表于: 2011-08-02
先看看
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cxb007007
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14樓
發(fā)表于: 2011-08-06
好東西
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摔冰室主人
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15樓
發(fā)表于: 2011-08-11
.空心陰極離子鍍?cè)?span style="display:none"> 7QzUw
在本底真空為高真空的條件下,由陰極中通入氬器氣(1-10-2)
o4tQ9X=}
在陰極與輔助陽(yáng)極之間加上引弧電壓,使氬氣發(fā)生輝光放電,在空心陰極內(nèi)產(chǎn)生低壓等離子體放電,陰極溫度升高到2300-2400K時(shí),由冷陰極放電轉(zhuǎn)為熱陰極放電,開(kāi)始熱電子發(fā)射,放電轉(zhuǎn)為穩(wěn)定狀態(tài)。通入反應(yīng)氣體,可以制化合膜。
-$t#AYKz
=p$1v{L8
2.測(cè)控濺射工作原理
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