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離線greenhaw

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-06-29

在DC sputtering時，有一個參數(shù)是Impedance范圍0-10000，請問如果過程中如真空度過高或功率很低引起阻抗很大，意味著什么，會不會對電源有損害？

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