仿照 晶控儀 tooling的含義,以監(jiān)測(cè)片為分母,光控的tooling可以認(rèn)為 iA0q_( \X
光控tooling = 產(chǎn)品膜厚/光控片膜厚 * 100%
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注意,某些軟件從設(shè)計(jì)膜系乘以"一定系數(shù)"變?yōu)楣饪仄系暮穸?。前面定義的"光控tooling"與這里的"一定系數(shù)",其含義是不一樣的,剛好是反的。 `xz<>g9e
有用到膜林間接監(jiān)控的要注意。 6Z`R#d #I
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