本人對(duì)光學(xué)基本一竅不通，但是因?yàn)樾枰��?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=衍射',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_7">衍射光柵集成到MEMS器件上面，需要了解一下微光學(xué)/二元光學(xué)的制作工藝。 km lb,P  
因?yàn)槠骷�都集成在硅上，所以特求使用半�?dǎo)體/MEMS工藝制作工藝在微光學(xué)方面的書(shū)。 `\3RFr  
hA&m G33  
其中灰度光刻是制作微光學(xué)結(jié)構(gòu)的一個(gè)很好的方法，當(dāng)然還有很多微納加工的工藝方法。 PqyR,Bcx0  
望涉獵此行的同仁不吝賜教，幫忙推薦或者開(kāi)導(dǎo)。 ^y|`\oyqwN  
NJoHrhC='  
謝謝！

希望側(cè)重于工藝方面的，理論基本不懂的； Wp^|=  
如果有從事MOEMS工作望交流交流

感興趣

學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

我也是迫切想知道MEMS的工藝啊，尤其是一些封裝啊