將近40年以來,氣動振動隔離器一直是穩(wěn)定大多數(shù)工業(yè)及學(xué)術(shù)上重要的微型工程使用儀器的支柱。在微
電子加工、工業(yè)激光/光學(xué)
系統(tǒng)及生物研究領(lǐng)域中,對更加精密的振動隔離的需求每日劇增。這些所謂的"被動系統(tǒng)"風(fēng)動工作臺現(xiàn)在面臨著新型的負(fù)勁度振動隔離器的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。
ZSuUmCm Kn SXygT 負(fù)勁度振動隔離在工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中迅速得以流行完全是因?yàn)槠淠軌蛴行У卦诟鞣N各樣富有挑戰(zhàn)性的環(huán)境中進(jìn)行振動隔離的能力。一只隔離器用于解決一個問題,而且問題的嚴(yán)重性確定了需要何種解決方案。
#I|Vyufw iNUisl 風(fēng)動工作臺自20世紀(jì)60年代以來就一直被用于隔離。基本上是一罐罐的空氣,現(xiàn)在他們依然是所使用的最流行的隔離器。但是,共振頻率為2至2.5Hz的風(fēng)動工作臺在典型情況下只能處理低到8至10Hz的振動,對于今日之
納米設(shè)備最適合的表現(xiàn)來說,它還是不夠低。同樣,在空氣隔離器能夠處理的頻率范圍內(nèi)也需要更大的隔離功效。
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;_bB"q* 需要更好的隔離作用
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