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[求助]鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關(guān)系？ [復(fù)制鏈接]

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離線e501559

實(shí)習(xí)生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-11-01

求解：鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關(guān)系？怎么理解它們之間的關(guān)系?

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離線yzhuang

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2011-11-08

一般是通過控制功率來控制速率，而膜厚是速率乘以時間的累積，tooling是校正厚度而設(shè)的一個材料參數(shù)。具體為toolingX顯示厚度＝實(shí)測厚度

離線xingmeng1227

助理工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2011-11-09

shoujiaole

離線cxb007007

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2011-11-12

在一定條件下功率大速率高相對折射率偏高膜厚減少

離線xingmeng1227

助理工程師

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2011-11-26

zhemejiandan?

離線老城1234

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2012-08-15

呵呵這個也問啊

離線a060103112

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2013-02-27

其實(shí)吧，這些問題你自己好好想想應(yīng)該是能明白的

離線scenery

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2013-08-03

新手，好好學(xué)習(xí)中

離線rexchou

技術(shù)員

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2016-04-21

鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料)

功率=電子槍功率

膜厚:薄膜厚度(nm)

Tooling=誤差值=實(shí)際/理想

來自臺灣則米的SiO2王

離線jakzhou

技術(shù)員

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2016-06-02

鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料)

功率=電子槍功率