[原創(chuàng)]均勻性的修正 [復(fù)制鏈接]

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只看該作者 40樓發(fā)表于: 2012-12-03

路過，看看

離線ken_jinyan1

技術(shù)員

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只看該作者 41樓發(fā)表于: 2012-12-03

均與性調(diào)到5nm以下，如何？

離線copland

高級工程師

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只看該作者 42樓發(fā)表于: 2012-12-17

調(diào)整均勻性擋板，上下，形狀都會影響均勻性，理論計算就不會了

離線hjstar

技術(shù)員

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只看該作者 43樓發(fā)表于: 2012-12-30

通過調(diào)節(jié)擋板和掛環(huán) *@ \LS!N

離線陶月天

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只看該作者 44樓發(fā)表于: 2013-01-10

通過補(bǔ)正板的適當(dāng)調(diào)整，可以解決。具體要看曲線的形狀，具體分析。

離線拉比熊

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只看該作者 45樓發(fā)表于: 2013-01-13

通過調(diào)節(jié)擋板和掛環(huán)

離線jingjing520

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只看該作者 46樓發(fā)表于: 2013-01-22

調(diào)節(jié)補(bǔ)償擋板

離線zmduan

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只看該作者 47樓發(fā)表于: 2013-02-04

1,先鍍一鍋無修正板的,測試片要記好順序,測出數(shù)據(jù)( 用一種膜料試)
2,再鍍一鍋有修正板的,修正板長方最好是長方形,測試片要記好順序,測出數(shù)據(jù),
(順序出錯很重要,不能出錯),
3,根據(jù)1,2的數(shù)據(jù),算出各個位的修正因子
4,再根據(jù)2的數(shù)據(jù)和各個位的修正因子,修改修正板,用改好的板再鍍,測出數(shù)據(jù)
5,看數(shù)據(jù)的一致性好不好,好了就OK,不好,再根據(jù)4的數(shù)據(jù)和各個位的修正因子,修改修正板,用改好的板再鍍,測出數(shù)據(jù),
6,重復(fù)直到OK

離線zmduan

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只看該作者 48樓發(fā)表于: 2013-02-04

這是一個朋友教我的,
不清楚的加我QQ:398616130

離線zmduan

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只看該作者 49樓發(fā)表于: 2013-02-04

找到修正板和對應(yīng)位的方法:
1,拉線法,坩堝中心到對應(yīng)位中心拉線,對應(yīng)的修正板位置就是對應(yīng)位遮擋線,用此法找出每一個位在修正板遮擋線的位置,對應(yīng)位置的寬度就是計算的依據(jù)
2,光線法,坩堝中心放一個小燈泡,對應(yīng)位中心被修正板遮擋的位置就是對應(yīng)位遮擋線,找出每一個位