[討論]AZO的density and Z ratio [復制鏈接]

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離線greenhaw

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-11-23

蒸發(fā)AZO鍍膜過程中，要輸入AZO的density and Z ratio但是查遍表格也沒有發(fā)現(xiàn)，用ZnO的數(shù)據(jù)作了一遍發(fā)現(xiàn)不太準，
誰有AZO的數(shù)據(jù)分享以下？以及AZO evaporation過程中的注意事項
BTW,AZO好像是直接升華的，我用ZnO的參數(shù)晶振片上顯示150nm，但是a-step測試只有幾納米，不知道為什么？求解！！

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離線yzhuang

論壇版主

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2011-11-27

個人認為,把密度參數(shù)設(shè)準了,其它的基本上以忽略

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