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    [分享]在反應濺射鋁的過程中的打弧問題 [復制鏈接]

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    離線余登峰
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-11-27
    在反應濺射鋁的過程中的打弧問題，看到的共享一下。
    附件設置隱藏，需要回復后才能看到
     
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    離線zmfu77
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-12-16
    如果采用的是直流磁控濺射設備，應該有以下幾個原因： ~wQ WWRk  
    1、靶的兩端污染嚴重，導電性能差，積累大量電荷，造成對真空腔體放電打火。 YfYL?G  
    2、靶表面污染或有氧化層 p>hCh5  
    3、靶的兩端有清微漏水、漏氣的情況 ^SelqX  
    4、電源滅弧性能差
    離線guangbao
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2014-03-09
    看看隱藏了什么？ - G2M;]Cn  
    離線caiqiwen
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2014-11-06
    回復看一下附件
    離線光跡
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-08-20
    隱藏的是什么
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2024-05-31
    反應濺射鍍鋁是加氧鍍氧化鋁嗎 xRZT  
    離線xiezhizhi
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2024-06-01
    一樣的 WK5bt2x  
    離線西點
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 05-21
    好奇心，看看
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