工件臺轉(zhuǎn)速對非平衡磁控濺射沉積MoS2- Ti復合薄膜的結(jié)構(gòu)與性能影響摘要：采用非平衡磁控濺射沉積技術制備 MoS 2 2 Ti復合薄膜 , 研究了工件臺轉(zhuǎn)速對薄膜的結(jié)構(gòu)和性能的影響。利用XRF和 XRD分析薄膜的成分和晶相結(jié)構(gòu) , 用 CSEM薄膜綜合性能測試儀測試薄膜的硬度和與基底間的附著力 , 用球 2 盤摩擦試驗機和真空環(huán)模系統(tǒng)評價薄膜的真空摩擦磨損性能。結(jié)果表明: 提高工件臺轉(zhuǎn)速改善了摻雜金屬 Ti在薄膜中的分布均勻性 , 起到了細化晶粒尺寸 , 使薄膜組織結(jié)構(gòu)致密性加強的效果。工件臺轉(zhuǎn)速變化不影響薄膜成分 , 薄膜的晶相從明顯的 (002) 基面優(yōu)勢取向向準晶態(tài)轉(zhuǎn)變; 薄膜的硬度、與基底間的附著力都隨工件臺轉(zhuǎn)速的提高而增大; 薄膜在真空環(huán)境中的減摩作用與工件臺轉(zhuǎn)速無關 , 摩擦因數(shù)平均值為 0102, 波動范圍為 0101～0104, 薄膜耐磨壽命隨工件臺轉(zhuǎn)速提高而延長。 蒲城县| 阿拉善右旗| 本溪| 宁武县| 福泉市| 兴隆县| 六安市| 滦南县| 盈江县| 忻州市| 讷河市| 乌苏市| 砚山县| 南丰县| 双辽市| 德州市| 同德县| 高雄市| 陈巴尔虎旗| 镇平县| 六枝特区| 漳浦县| 中宁县| 禹城市| 濉溪县| 永胜县| 樟树市| 天气| 武隆县| 古田县| 昌黎县| 富平县| 桐梓县| 东丰县| 临清市| 黎平县| 英吉沙县| 兴安县| 阿拉尔市| 会昌县| 湖州市|