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關鍵詞：磁控濺射激光掃描退火

激光掃描磁控濺射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2摘要：用直流磁控濺射方法分別在室溫及不同溫度的 Si (100)襯底上沉積 Fe 膜 ,隨后采用脈沖激光掃描進行退火 ,X 射線衍射(XRD) 和掃描電子顯微鏡(SEM)表征了激光掃描對薄膜結晶性質和表面顯微結構的影響。測量結果證實直接形成了 Fe2Si 化合物系的富硅高溫相α 2FeSi2 ,室溫沉積樣品的結晶性質隨激光能量密度的增加而提高;反應沉積樣品的結晶性質隨襯底溫度升高而提高。

關鍵詞：磁控濺射；激光掃描退火；結晶性質；顯微結構

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